10.3969/j.issn.1674-8980.2015.07.018
多晶硅项目洁净管道的施工技术
分析了多晶硅项目中影响管道洁净的因素,制订了保证管道洁净施工的工艺技术措施,保证了多晶硅项目中工艺管道施工的洁净度要求,满足了多晶硅生产要求。
多晶硅、洁净度、工艺施工、技术要求
TG4;TS2
2015-08-28(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
59-60,65
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10.3969/j.issn.1674-8980.2015.07.018
多晶硅、洁净度、工艺施工、技术要求
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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