电子特气甲硅烷的国产化实践及行业展望

摘要：

高纯甲硅烷是半导体工业中最重要"源"性气体,广泛应用于集成电路、太阳能光伏、显示面板及车用动力电池等领域,曾被美、日、韩等国垄断.本文回顾了甲硅烷技术的国产化之路,指出氯硅法路线和反应精馏技术,创新高纯甲硅烷大规模生产新工艺,产品打破国外技术垄断并先后导入光伏、显示面板、集成电路等领域.本文还对甲硅烷电子特气行业进行展望,指出本文作者课题组为代表开发的氯硅法路线是未来的主流工艺,而镁硅法联产甲硅烷和乙硅烷也可能是一条较好路线,并认为通过技术整合和工艺创新开发多产品和多联产产品,发展平台型企业,是未来行业发展的方向.

关键词：硅烷;电子特气;氯硅烷;电子材料;电子化学品

所属期刊栏目：40

分类号：TH3(泵)

资助基金：国家自然科学基金22008152

在线出版日期：2021-09-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：5231-5235