电子级HF吸附法回收的节能降耗潜力分析

摘要：

电子级氟化氢(HF)气体的回收具有良好的经济、环境、社会效益,吸附法是最有希望实现回收的方式之一.然而能耗问题限制其进一步发展,如何对其展开节能降耗尚未见专题研究.本文通过对吸附循环能耗等指标的计算,对吸附循环的性能展开了探索性研究.采用分子模拟技术,计算获得HF的吸附平衡等温线数据;建立变温吸附循环数值模型,明确评价循环效能的指标参数;改变吸附温度、压力等运行参数,分析能耗、能效等循环指标的变化趋势,探索降低能耗提升效率的方向.计算结果表明:吸附温度由298K降低到288K,回收单位质量HF能耗由14.0912MJ/kg降低为3.1173MJ/kg,能量利用效率由0.02升高到0.0953;解吸温度由340K升高到350K,能耗降低为12.0037MJ/kg,能量利用效率升高到0.0247.可以看出,降低吸附温度对降低能耗、提升能效的作用更加明显.此外,还得到以下结论:提高进气浓度对各指标均有积极影响;提高吸附压力仅对回收率有较大影响;冷热源与操作温度的差值仅影响产率大小.

关键词：氟化氢、分子模拟、回收、解吸、脱附、能耗、变温吸附

所属期刊栏目：40

分类号：O647.3;X701(物理化学（理论化学）、化学物理学)

资助基金：国家自然科学基金;天津市技术创新引导专项;产业化项目

在线出版日期：2021-07-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共11页

页码：3645-3655