四氯化硅残液处理方法的研究进展
阐述了多晶硅行业的生产背景和现状,介绍了多晶硅行业现今所面临的困境和多晶硅生产中副产物四氯化硅的一般处理方法,并讨论了多晶硅生产中四氯化硅残液的组成和处理难点,概述了多晶硅生产中四氯化硅残液的各种处理方法,主要是水解法、过滤法、干燥法、燃烧法等。对各种处理方法进行了综合性的分类与讨论,并指出了现存方法的优缺点,展望了各种方法的应用前景。
多晶硅、四氯化硅、氯硅烷、残液处理
31
TQ028.8(一般性问题)
2012-09-29(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共6页
1828-1833