硅纳米线的制备技术及应用研究新进展

摘要：

综述了硅纳米线制备技术的最新进展,系统介绍了激光烧蚀法、化学气相沉积法、热蒸发法、溶液法、电化学法和硅衬底直接生长法等方法,比较了不同方法在硅纳米线可控制备中的优缺点,着重阐述了硅纳米线在传感器、光电子器件、锂离子电池等方面的潜在应用,探讨了目前存在的问题及其今后的研究发展方向.

关键词：硅纳米线、制备、传感器、光电子器件、锂离子电池

所属期刊栏目：29

分类号：TN304.1(半导体技术)

资助基金：重庆市科委自然科学基金计划CSTC2009BB4047;"重庆大学"211工程"三期建设研究生开放实验室项目S-09013

在线出版日期：2013-04-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：274-280