浅谈大型电子厂房洁净室华夫板结构平整度控制技术

摘要：

基于宝鼎(杭州)乾芯半导体集成电路厂房洁净室建造经验,详细阐述了大型电子厂房华夫板平整度控制的关键工艺,能够有效保证华夫板施工质量完全达到"内实外光"的要求.

关键词：大型电子厂房、洁净室、华夫板结构、平整度控制

所属期刊栏目：45

分类号：TU741.1;TQ082(建筑施工)

在线出版日期：2023-12-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：102-104,115