烷类特种气体分析装置的研制及其应用

摘要：

烷类特种气体为集成电路生产中重要的原材料,提高其气体分析结果的可靠性对提高原料气的纯度,促进电子工业事业的发展具有重要的意义.多维气相色谱装置已成为层析法中一个很重要的独立分支,本文主要探讨了多维气相色谱法在烷类特种气体分析中装置设计要点及应用价值.

关键词：气体分析、烷类特种气体、多维气相色谱法、装置设计

所属期刊栏目：39

分类号：TH833

在线出版日期：2019-10-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：179-180