10.3969/j.issn.1003-5060.2005.07.026
用神经网络算法预测溅射镀膜时的溅射产额
文章运用人工神经网络理论建立预测模型,综合考虑了影响溅射产额的多个参数;用实例讨论了如何利用网络模型来预测不同条件的溅射产额,并对网络模型的适用性进行了检验,证明其有一定的适用价值;其结果可能在生产中应用,也指明了需要进一步研究的问题.
溅射产额、神经网络、预测
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TP273.21(自动化技术及设备)
2005-09-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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