MEMS压力传感器的温度补偿

摘要：

研究了恒流激励条件下批量温度补偿的方法.零点的温度补偿是通过在桥臂上并联阻值较大且恒定的电阻来实现的,而灵敏度的温度补偿则是在整个桥臂上并联阻值较小且恒定的电阻来实现的,补偿后零点温漂为0.004%～0.015%FSO/℃,灵敏度温漂为0.003 5%～0.024%FSO/℃,这表明这种补偿方法具有良好的效果.

关键词：MEMS、压力传感器、温度补偿

所属期刊栏目：37

分类号：TP212.1(自动化技术及设备)

资助基金：国家"863"计划MEMS重大专项2004AA404221;河南省科技攻关计划项目0624220036

在线出版日期：2009-04-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：70-73