离子轰击碳膜凸起形成碳纳米尖端的理论分析

摘要：

用CH4、NH3和H2为反应气体,利用等离子体增强热丝化学气相沉积系统在沉积有碳膜的Si上制备了碳纳米尖端.用原子力显微镜表征了碳膜,结果表明碳膜是凸凹不平的膜,有许多凸起.在生长碳纳米尖端的过程中,由于既有含碳离子在凸起上的沉积,又有氢离子和含氮离子对凸起的刻蚀,根据有关离子沉积和溅射刻蚀的理论,理论分析了离子轰击碳膜凸起碳纳米尖端的形成.

关键词：碳纳米尖端、离子轰击、化学气相沉积

所属期刊栏目：34

分类号：O484.1;O539(固体物理学)

资助基金：教育部留学回国人员科研启动基金

在线出版日期：2007-01-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：203-208