MgAl/PbPc/Cu有机薄膜二极管的制备与气敏特性分析

摘要：

选用酞菁铅作为有机半导体气敏材料,用真空热蒸镀、磁控溅射等镀膜方法制备器件,所制备薄膜二极管的结构为MgAl/PbPc/Cu,使用Keithley 4200半导体测试仪与气敏测量系统分析器件肖特基二极管的气敏特性,通过对电流-电压特性的实测数据进行深入的理论分析,比较出器件对不同浓度NO2气体的敏感程度.经过测试结果可知:当器件置于10-5的NO2气体74 min后,正向电流减小65倍,对应的MgAl/PbPc肖特基势垒高度约上升了20 meV.同时由于被吸附NO2气体的PbPc薄膜少数载流子电子数目的增加,导致器件的反向电流增加4倍.

关键词：酞菁铅、薄膜二极管、气敏特性、NO2

所属期刊栏目：19

分类号：TN321(半导体技术)

资助基金：黑龙江省教育厅科学技术研究项目12511120

在线出版日期：2014-09-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：67-70