D-JADE混合产品批间控制技术

摘要：

针对混合产品半导体制程,采用了一种多重输入输出批间控制技术.该技术从目前的单机、单产品与单变量的批间控制技术,推广至多机、多产品与多变量的批间控制.所设计的D-JADE控制器采用两个预测器,分别预测制程位移与漂移造成的扰动,然后对下一批次的制程输入做补偿控制,使制程输出控制在期望值.为了验证采用的控制算法,设计了半导体生产制程的干扰模型,并利用此模型对D-JADE和D-EWMA进行了仿真比较.由仿真结果可知,所采用的控制器比传统的D-EWMA控制器具有更好的预测与控制效能.

关键词：JADE、混合产品、半导体制程、批间控制

所属期刊栏目：18

分类号：TP273(自动化技术及设备)

资助基金：黑龙江省自然科学基金F0320

在线出版日期：2013-10-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：25-30,36