数字图像处理技术在干涉仪中的应用

摘要：

利用CCD(charge-coupled device)对立式接触式干涉仪进行改装研制,变目视观察与判读读数为光电探测、自动瞄准、测量,把显微镜下的干涉条纹图像利用CCD采集后传输到计算机.结合数字图像处理技术,利用波长定度方法实现自动定度,双边直线拟合法自动确定0级干涉条纹中心的准确位置,并根据量块形成的0级干涉条纹中心偏移像素值计算量块长度.实验测试结果表明利用数字图像处理技术消除了人为判读差错的可能性,提高了工作效率,稳定可靠.

关键词：图像处理、CCD、自动定度、接触式干涉仪

所属期刊栏目：32

分类号：TH741.1(仪器、仪表)

资助基金：国家自然科学基金资助项目60677021

在线出版日期：2012-07-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：203-206