基于Pd/SiNWs/p-Si结构的高灵敏常温氢气传感器

摘要：

采用无电镀Pd的方法,在硅纳米线上制备了一层Pd.首次制备出了能够在室温下工作的Pd/SiNWs肖特基氢气传感器.SEM(Scanning Electron Microscopy)(扫描电子显微镜)表征结果表明,硅纳米线表面Pd层是由Pd纳米颗粒组成.Pd/SiNWs肖特基二极管Ⅰ-Ⅴ测试结果表明,该传感器可以在室温下进行氢气(H2)浓度的检测,且可检测的浓度范围很大,同时给出了Pd/SiNWs/p-Si肖特基二极管在常温下进行检测H2的敏感机理.实验表明,这种新型传感器可以在室温下进行H2检测,且具有很大的发展潜力,可以应用于燃料电池等诸多领域.

关键词：氢气检测、室温、无电镀、钯硅纳米线阵列、恒电位计时电流

分类号：TN31(半导体技术)

在线出版日期：2015-12-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共10页

页码：81-89,107