用于高空气象探测的聚酰亚胺薄膜湿敏电容研究

摘要：

设计制作了一种基于MEMS技术,可应用于高空湿度探测的薄膜湿敏电容.电容采用三明治结构,聚酰亚胺薄膜作为湿度敏感层材料,金作为上、下电极.测试结果表明,在15％RH～95％RH的全量程范围内,湿敏电容的合格率≥80％,灵敏度约为0.29pF/％RH,线性误差＜1.5％RH,湿滞较小,响应时间小于4s,温度系数好,具有良好的长期稳定性.研究表明,制作的湿敏电容综合指标良好,适合批量生产,可以满足高空气象探测要求.

关键词：湿度传感器、湿敏电容、聚酰亚胺、MEMS

分类号：TP212(自动化技术及设备)

在线出版日期：2014-09-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：69-76