运用介电泳技术将SnO2纳米球体作为敏感元件的相对湿度传感器特性

摘要：

通过介电泳技术将敏感元件SnO2球形纳米颗粒定位到间距为20μm的Au又指电极之间,制备了一种相对湿度传感器.从获得的Ⅰ-Ⅴ曲线可以看出,Au/SnO2/SnO2/Au组合结构具有良好的电导率.通过自己设计的相对湿度测试系统测试了其传感特性,结果显示该湿度传感器具有高的敏感性及可重复性.证明了运用介电泳方法所制备的湿度传感器在各种不同的湿度条件下,都具有很好的稳定性,即使是在非常高的湿度条件下.并且这种方法可以广泛用于其它种类的纳米球和各种不同器件结构中.

关键词：介电泳、纳米球体、二氧化锡、微电极、湿度传感器

分类号：TB383;TP212(工程材料学)

资助基金：国家自然科学基金50502036;上海市曙光计划项目06SG30

在线出版日期：2013-06-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：16-23,36