新型RF MEMS开关的动态表征

摘要：

一种基于UV-LIGA加工技术的双稳态电磁型RF MEMS开关,由于其结构使用了永磁体单元而使得开关在维持"开"或"关"态时不需要功耗,从而实现低功耗的电磁驱动.利用非接触式Wyko NT1 100光学轮廓仪所附带的动态测量系统(DMEMS),对开关的动态响应进行了测量.测量结果表明开关实现了双稳态驱动,开关实现状态完全切换到位对应的响应时间不到20 μs.

关键词：微电子机械系统、射频开关、双稳态、动态测量

分类号：TN61;TP271.+4(电子元件、组件)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2003AA404140;信息产业部电科院预研41308050116;国家自然科学基金60676047;上海-应用材料研究发展基金06SA11;上海交通大学优秀博士学位论文基金

在线出版日期：2007-12-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：118-122,140