10.3969/j.issn.1000-5641.2005.02.009
圆柱腔内微波等离子体激励的研究
根据谐振腔理论,证明圆柱反应腔内的主模为TM01p模,并在圆柱坐标下采用FD-TD数值方法求解圆柱形反应腔中的场分布情况,改善和提高微波等离子体反应装置的激励性能.等离子体实际分布与场分布的预测结果基本吻合.
微波等离子体、圆柱腔、TM01p模、FD-TD数值方法
TN99
国家自然科学基金19971027,10271048
2005-07-21(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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