相位连续可调毫米波MEMS移相器的研制

摘要：

MEMS 毫米波相移器是MEMS 毫米波相控阵天线的关键部件之一,它的性能直接决定了毫米波相控阵天线的性能.该文介绍毫米波MEMS 相移器的设计,研究低损耗衬底,Au,AlxSi1-x可动膜对下拉电压和传输损耗的影响,测试表明:21桥相位连续可调的分布式压控开关阵列-毫米波相移器在35GHz 时,启动电压5V,20V时相移量达到372°/3.5 mm,并能在不同的控制电压下根据要求改变相移量.

关键词：MEMS、毫米波相移器、相位连续可调、传输损耗、插入损耗、启动电压

分类号：TN405(微电子学、集成电路（IC）)

资助基金：国家重点基础研究发展计划973计划G1999033105;国家自然科学基金69975409

在线出版日期：2004-05-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：49-55