阳极键合应力的原位拉曼光谱研究

摘要：

介绍了一种基于原位激光拉曼光谱的阳极键合应力研究方法.通过自制的小型阳极键合装置,结合激光拉曼光谱仪,原位研究了在阳极键合升温、通电和降温过程中硅界面应力的演变过程.升温过程中单晶硅的拉曼峰位会向低波数移动,通电恒温键合过程中氧化硅的生长会在单晶硅界面引入拉应力,降温过程中单晶硅界面的应力状态发生从拉应力到压应力的转变.界面的氧化过程对阳极键合结构界面的应力状态有重要影响.

关键词：阳极键合、拉曼光谱、应力、原位

所属期刊栏目：42

分类号：TH11

在线出版日期：2016-08-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：363-368