沉积温度对疏松热解碳密度的影响

摘要：

以乙炔为碳源气体,采用化学气相沉积的方法,在1100～1550℃范围内制备出疏松热解碳.利用图像法测定疏松热解碳的密度,用场发射扫描电镜检测了疏松热解碳的微观结构.结果表明:疏松热解碳密度在1100～1250℃范围内随沉积温度升高而升高,在1250～1350℃范围内密度随沉积温度升高而下降,到1350℃后密度趋于稳定;沉积温度为(1450±50)℃时,能制备出满足工艺要求的疏松热解碳.

关键词：沉积温度、疏松热解碳、化学气相沉积、密度

所属期刊栏目：36

分类号：TN304.1+8(半导体技术)

在线出版日期：2015-09-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：86-89