锆钇合金靶件性能对镀膜工艺影响研究

摘要：

采用脉冲偏压电弧离子镀技术在不锈钢基片上制备氧化钇稳定的氧化锆(YSZ)薄膜.通过改变靶材成分均匀性和致密性,分析其对起弧性能、镀膜工艺稳定性的影响;使用金相显微镜(OM)、扫描电镜(SEM)和X射线衍射(XRD),对合金靶材及制备的YSZ涂层进行全面分析.结果表明,通过包覆热轧及退火热处理的合金靶材起弧性能好,镀膜工艺稳定,沉积的薄膜均匀、致密,组成为氧化钇和非晶氧化锆.

关键词：YSZ、电弧离子镀、锆钇合金

所属期刊栏目：32

分类号：TG174.444(金属学与热处理)

在线出版日期：2011-07-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：25-29