环境温度对Ti-Mo-N薄膜摩擦磨损性能的影响

摘要：

采用多靶共聚焦射频磁控溅射仪制备了Mo含量为46.0％的Ti-Mo-N薄膜,研究了不同环境温度对薄膜摩擦磨损性能的影响.结果表明,Ti-Mo-N薄膜平均摩擦系数(μ)及磨损率(W)受环境温度影响很大,根据其变化趋势,可将环境温度分为3个区间(A,B,C),对应环境温度范围分别为25 ～200℃、200 ～300 ℃、300 ～600 ℃.随环境温度升高,区间A内μ逐渐升高,W略有降低;区间B内μ及W基本保持稳定;区间C内μ逐渐降低,W逐渐升高.分析认为磨痕中具有自润滑作用的氧化相的量是导致薄膜μ及W出现上述变化趋势的主要原因.

关键词：磁控溅射、Ti-Mo-N薄膜、环境温度、氧化物量、摩擦磨损性能

所属期刊栏目：33

分类号：TG174.444(金属学与热处理)

资助基金：国家自然科学基金资助项目518010181,51574131

在线出版日期：2019-11-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：12-17