钛掺杂氧化镍基电阻存储薄膜的电学性能研究

摘要：

采用溶胶-凝胶法与化学修饰法相结合的方法制备感光性钛掺杂氧化镍基溶胶及凝胶膜,对凝胶膜热处理,然后测试其电学性能.测试结果表明:热处理温度为300℃时,Ti掺杂NiOx薄膜具有明显的双极性电阻开关性能.且随着Ti摩尔掺杂量的增加,薄膜的复位电压有变化.当摩尔掺杂量n(Ni)/n(Ti)=92:8时,NiOx薄膜的复位电压最小.

关键词：溶胶-凝胶法;钛掺杂氧化镍基薄膜;双极电阻开关性能

所属期刊栏目：50

分类号：TN402(微电子学、集成电路（IC）)

资助基金：2019年西安航空职业技术学院科研项目19XHZK-011

在线出版日期：2021-08-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：68-70