氧化镍存储薄膜微细图形的研究

摘要：

以醋酸镍为原料，乙二醇甲醚为溶剂，苯酰丙酮为化学修饰剂，采用溶胶-凝胶法与化学修饰法相结合的方法制备感光性氧化镍基溶胶及凝胶膜，利用紫外-可见光分光计和红外光谱仪等手段对凝胶膜进行分析表征，结果表明：此凝胶膜具有紫外感光特性。利用其感光特性，可以对NiOx凝胶膜进行微细加工。采用掩模法以紫外光为曝光光源对NiOx凝胶膜进行微细加工，结果表明此凝胶膜具有良好的微细加工特性。同时，还可采用无掩模的激光干涉技术，利用氪离子激光器双光束一次曝光工艺制备了线密度为1200 l/mm的光栅。

关键词：溶胶-凝胶法、含镍螯合物、感光性、化学修饰、微细图形

分类号：TN402(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2015-09-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：93-97