多孔硅基微型 Bragg 光学传感器的理论和应用研究

摘要：

对多孔硅基微型光学传感器的可制备性进行了理论分析，说明只要选择合适的腐蚀条件，采用交替改变电流密度的方法就可以得到折射率随深度交替变化的多层多孔硅结构，即 Bragg 反射镜，同时可实现了反射谱峰位可调。提出了Bragg 反射镜的理论模型，对其布拉格中心波长，半峰全宽以及光强反射率进行了理论计算，得出了高低折射率之比、层数与光强反射率之间的关系，并对实际情况进行了说明。最后，简单介绍了 Bragg 反射镜在气体/液体传感器及光学微腔中的应用，有一定的应用价值。

关键词：多孔硅、Bragg 反射镜、气体 / 液体传感器、光学微腔

分类号：TP212.9(自动化技术及设备)

资助基金：唐山市教育科学研究“十二五”规划2011年度课题125ZD085。

在线出版日期：2014-07-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：4-7