微观表面形貌检测方法及其发展

摘要：

零件表面的微观几何形貌在很大程度上影响着它的使用性能.本文论述了微观表面形貌检测方法的发展历史,分析了接触式和非接触式测量表面形貌的特点,重点阐述了常见的光学测量方法,并对其进行了比较.并重点分析了光学干涉法、触针法的基本特点.

关键词：微观表面形貌、非接触测量、接触式测量、干涉法

分类号：TN4;TG8

在线出版日期：2014-08-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：55-58