10.3969/j.issn.1674-0262.2011.02.026
APCVD法制备ZnO基TCO薄膜的研究进展
介绍了APCVD法制备ZnO基TCO薄膜的发展过程,总结了APCVD工艺设备及参数对ZnO基TCO薄膜性能的影响.展望了APCVD法结合浮法玻璃生产工艺在线生产ZnO基TCO薄膜的产业化应用前景.
ZnO、TCO薄膜、APCVD
33
O631.1+1(高分子化学(高聚物))
2011-08-09(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共5页
122-126
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10.3969/j.issn.1674-0262.2011.02.026
ZnO、TCO薄膜、APCVD
33
O631.1+1(高分子化学(高聚物))
2011-08-09(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共5页
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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