Taurus workbenchyong用于IC制造加工工艺的实验研究

摘要：

介绍了集成电路虚拟工厂系统Taurus Workbench.并基于CMOS工艺的特点,在Tau-rus Workbench环境下进行了亚微米级n沟器件的核心参数优化实验研究,结果印证了集成电路虚拟工厂技术为工艺优化提供了便捷有效的方法.

关键词：集成电路虚拟工厂、阈值电压、仿真、优化

所属期刊栏目：26

分类号：TP391(计算技术、计算机技术)

在线出版日期：2004-09-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：53-56,70