光波导器件应用及其表面光滑化研究综述

摘要：

光波导器件在许多领域都有着广泛的应用和良好的发展前景.而波导器件表面粗糙度影响传输光损耗和环形腔Q值,制约光波导器件的发展和应用.目前常用波导器件表面和侧壁光滑化方法有热氧化法、激光束法和氢退火法,其中氢退火法有较好的光滑化效果,但对于氢退火工艺的机理并不清楚,无法进一步优化实验参数,达到最佳实验效果.在对上述内容进行综述的基础上,通过Materials Studio仿真分析,初步研究了退火机理,基于仿真研究结果,分析氢气环境对退火过程的意义,为应用氢退火工艺对波导器件光滑化实验提供理论指导.

关键词：光波导、光滑化、氢退火、表面粗糙度、光波导器件

所属期刊栏目：38

分类号：TN305.2(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金51505324,91123036

在线出版日期：2017-03-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：26-31