SiC单晶线锯切片及电镀锯丝制造技术的研究进展

摘要：

针对碳化硅(SiC)单晶硬度高、脆性大,金刚石线锯切片时工具磨损快、切割效率低、晶片表面亚表面易出现微破碎损伤,使SiC单晶高质量切片和高性能锯丝制造技术成为关键和难点的状况,综述了SiC单晶线锯切片及电镀金刚石锯丝制造技术的研究现状,对其中存在的问题进行了概括与分析,并提出了SiC单晶金刚石线锯切片技术的未来研究方向.

关键词：SiC单晶、线锯切割、表面质量、金刚石锯丝

所属期刊栏目：34

分类号：TH161.1;TQ153

资助基金：国家自然科学基金51205234;山东省博士后创新基金201002031

在线出版日期：2014-03-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：501-506