A1掺杂ZnO薄膜的结构研究

摘要：

采用直流反应磁控溅射方法,在玻璃衬底上制备了Al掺杂ZnO薄膜.系统研究了不同氩氧体积比、不同退火温度和氛围、不同Al掺杂浓度对薄膜结构的影响.结果显示,Al掺杂ZnO薄膜为多晶薄膜,呈六角纤锌矿结构,制备条件和后期处理以及掺杂浓度对薄膜的微结构有着很大的影响.在氩氧体积比6:1条件下制备的薄膜,经真空500℃退火后具有较好的结晶和明显的(002)择优取向.

关键词：ZnO薄膜、结构特性、磁控溅射、退火

所属期刊栏目：32

分类号：O484.1(固体物理学)

资助基金：河北省自然科学基金资助项目A2009000254;河北师范大学一般基金资助课题L2009Y03;河北省新型薄膜材料重点实验室开放课题;河北民族师范学院科研基金资助项目201004

在线出版日期：2011-08-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：115-119