微波等离子体化学气相沉积β-C3N4超硬膜的研究

摘要：

采用微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD),用高纯氮气(99.999%)和甲烷(99.9%)作反应气体,在多晶铂(Pt)基片上沉积C3N4薄膜.利用扫描电子显微镜(SEM)和扫描隧道显微镜(STM)观察薄膜形貌表明,薄膜由针状晶体组成.X射线能谱(EDX)分析了这种晶态C-N膜的化学成分.对不同样品不同区域的分析结果表明,N/C比接近于4/3.X射线衍射结构分析说明该膜主要由β-C3N4和α-C3N4组成.利用Nano indenter Ⅱ测得C3N4膜的体弹性模量B达到349 GPa,接近c-BN(367 GPa)的体弹性模量,证明C3N4化合物是超硬材料家族中的一员.

关键词：C3N4、微波等离子体化学气相沉积法、薄膜沉积、超硬材料

所属期刊栏目：20

分类号：TB39(工程材料学)

资助基金：中国科学院资助项目19674009

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1-4