热场发射扫描电镜中的复合物镜和镜筒内探测系统

摘要：

为了解释镜筒内探测器对信号发射角衬度反映的依赖,借助光镜像差类比方法解释物镜和探测系统协调工作以探测信号的原理,最后分析了两种当前使用复合物镜的探测系统.以上研究表明,在当代热场发射扫描电镜中,借助物镜的磁场和电场,物镜和探测系统协同能够实现筛分和过滤信号的目的,使用光镜类比可以成功地理解各种镜筒内探测器对信号的接收情况.

关键词：场发射扫描电镜、低加速电压、复合物镜、镜筒内探测器

所属期刊栏目：37

分类号：TG115.21+5.3(金属学与热处理)

资助基金：教育部卓越工程师教育培养计划项目产学合作协同育人项目;哈尔滨工业大学深圳创新实验资助项目

在线出版日期：2023-09-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：400-407