基于图像处理的扫描电子显微镜校准方法

摘要：

扫描电子显微镜是半导体器件关键尺寸测量的重要仪器.为提高扫描电子显微镜的测量准确度和校准效率,研制了一套标称值为100 nm～10μm的线间隔样板和标称值为2μm～10μm的格栅样板.此外,针对现有校准规范中测长示值误差、正交畸变和线性失真度等参数,提出了一种基于图像处理的扫描电子显微镜校准方法.实验研究表明:研制的线间隔样板和格栅样板质量参数高,能够覆盖扫描电子显微镜的测量范围,解决仪器溯源问题.基于图像处理的扫描电子显微镜校准方法,能够有效提高测量准确度和校准效率.

关键词：扫描电子显微镜、线间隔样板、格栅样板、图像处理、校准方法

所属期刊栏目：36

分类号：TH711(仪器、仪表)

在线出版日期：2022-09-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：410-415