10.3969/j.issn.1671-7449.2022.04.001
超高品质因子晶体谐振腔制备及棱镜耦合封装
晶体材料具有高透明度、低缺陷损耗和不易被水蒸气污染等优点,用其制备的回音壁微腔具有超高的光学品质因子,在超高精度传感、非线性光学、光电子学等领域具有重要的应用前景.基于此,搭建了基于超稳定气浮转动的单点金刚石切削及抛光系统,通过高精度三维位移台控制,可实现多种侧面结构的高精度加工.锥形光纤与棱镜耦合倏逝波测试表明,氟化钙晶体谐振腔负载Q超过109,本征Q0值为3.74×109,相对应的表面粗糙为0.334 nm,棱镜耦合稳定封装后仍可保持Q在108以上.
回音壁模式、光学晶体谐振腔、超高Q、棱镜耦合、光学微腔
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O436(光学)
国家自然科学基金;国家自然科学基金;山西省青年科学基金资助项目;山西省青年科学基金资助项目
2022-07-18(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
277-280