10.3969/j.issn.1671-7449.2021.04.012
基于LTCC的新型高灵敏度陶瓷压力传感器的研制
本文提出了一种基于电容敏感机理的新型低温共烧陶瓷(LTCC)压力传感器.与传统制备工艺相比,由于4J33铁-镍-钴合金的使用,这种新型制备方法不仅可以避免压敏腔体的塌陷,而且还能对传感器的性能起到改善作用.结果表明,相同压力下,该传感器敏感膜的形变更小,所以有更高的响应度.并且在0 kPa~100 kPa的压力范围内,灵敏度可达13 kHz/kPa.不仅如此,压力传感器的重复性误差,磁滞误差和非线性都表现出非常好的性能,分别约为4.30%,2.21%和1.80%.
4J33铁-镍-钴合金;LTCC技术;陶瓷压力传感器;MEMS器件
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TN305(半导体技术)
2021-08-10(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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