近场微波显微镜软接触模式测量介电常数的研究

摘要：

近场微波显微镜测试样品介电常数依赖于针尖与样品的距离,准确控制针尖与样品距离是准确测试介电常数的基础.基于谐振腔谐振频率随针尖-样品距离接近曲线的探究,本文提出了一种准确实现探针与样品软接触的方法,采用软接触模式测量了一系列已知介电常数样品的谐振频率,并对所得的谐振频率-介电常数曲线进行拟合.结果表明,实验结果与理论非常吻合,拟合所得空载谐振频率也与实验一致.本文建立的软接触方法可准确控制针尖与样品的距离,实现介电常数的定量化准确测试.

关键词：近场微波显微镜、软接触、介电常数

所属期刊栏目：34

分类号：TB22(工程设计与测绘)

资助基金：国家重点研发计划资助项目2017YFB0406401

在线出版日期：2021-01-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：461-464,480