仿蟋蟀尾毛的MEMS振动传感器 有限元仿真分析

摘要：

基于MEMS技术和仿生学设计了一种纤毛+薄膜振动传感器敏感结构,由垂直纤毛和两个相互垂直的悬臂梁构成信息接收和传递单元,沉积在与悬臂梁末端固连的硅衬底薄膜上的PZT压电薄膜作为敏感转化单元.建立了该传感器结构的等效运动模型,在此基础上对传感器的输出特性和频率特性进行了数学分析.利用ANSYS有限元软件对不同结构及几何参数的敏感结构进行了仿真分析,对比仿真结果,优化传感器的结构和几何参数.仿真结果表明该结构传感器共振频率达到了6757.4 Hz.

关键词：振动传感器、MEMS、共振频率、有限元仿真

所属期刊栏目：34

分类号：TB565.1(声学工程)

资助基金：国家自然科学基金资助项目;山西省应用基础研究资助项目;山西省高等学校科技创新资助项目

在线出版日期：2020-07-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：355-359,368