基于光栅位移测量的反射镜设计

摘要：

针对集成光栅-反射镜位移测试中工艺及装配误差导致反射镜与光栅不能平行的问题,本文设计了一种可自主调节的反射镜.与传统的工艺精度控制不同,方案重点对可调节反射镜结构进行设计,反射镜的偏转采用电容板来调节.建立了单层光栅与反射镜测量位移的理论模型,分析了两者不平行导致的测量误差,通过Ansys软件进行静力学分析,施加0～50 V电压,仿真得到静电力作用下反射镜偏转最大位移为7μm,提取的最大应力35 MPa.仿真结果表明所设计的反射镜可调节范围大于不平行误差,从理论上验证了反射镜调节的可行性.

关键词：反射镜、静电调节、光栅位移测量

所属期刊栏目：33

分类号：TP212.1(自动化技术及设备)

资助基金：国家重点研发计划资助项目2017YFF0105200;国家自然基金面上资助项目61573323

在线出版日期：2019-05-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：192-195