基于光纤法珀干涉仪偏置点控制的高频振动位移测量方法

摘要：

为了实现超声换能器辐射面的振动测量,本文研究了一种基于光纤法珀干涉仪偏置点控制的高频振动位移测量方法,具有抗环境干扰、精度高等优点.针对正交相位偏置点解调方法中偏置点不稳定的问题,提出并分析了一种采用压电陶瓷叠堆执行器调整腔长稳定偏置点的工作原理,并对高频振动位移测量系统的性能进行了实验测试.实验结果表明:通过反馈控制腔长可以实现法珀干涉仪相位偏置点的稳定;位移测量系统的位移分辨率高于0.229 nm;测得位移和换能器的输入电压的非线性度小于3.41％.

关键词：光纤传感器、法珀干涉仪、振动位移、压电陶瓷、偏置点稳定

所属期刊栏目：29

分类号：TH822

资助基金：国家自然科学基金委国家重大科研仪器设备研制专项资助81127901

在线出版日期：2016-06-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：277-282