基于跨阻放大器的动态微弱电容检测电路

摘要：

基于 MEMS 技术的微电容超声传感器(CMUT),因具有易制造、易阵列化、噪声低、稳定性好以及批量化生产等众多优点,成为未来高频超声传感器发展的主要方向.本文介绍了微电容超声传感器的工作原理,提出了跨阻放大器检测电路,它能将电容信号转换为相应的电压信号(C/V 转换),再通过放大、滤波得出电容的变化量.该电路能很好地抑制杂散电容的影响,有很好的线性和稳定性,在400 kHz 的超声波作用下的灵敏度为1.64 mV/fF,基本满足对超声传感器电容变化量的检测.

关键词：CMUT、跨阻放大器、检测电路、杂散电容、灵敏度

分类号：TN707(基本电子电路)

资助基金：国家863计划资助项目2011AA040404;国家自然科学基金资助项目61127008

在线出版日期：2015-02-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：31-35