激光加工中光化学作用的检测分析方法

摘要：

在基于激光加工各种材料过程中存在的光热作用和光化学作用的基础上,综述了激光加工过程中光化学作用的检测分析方法.对光化学作用结果的检测主要通过对激光作用后材料表面的结构、成分、微观形貌、物理化学特性等的变化进行分析；而对光化学作用过程的检测则采用具有时间分辨尺度的质谱仪或光谱仪等对激光加工过程中产生的分子碎片和带电离子的质量分布、能量分布和角度分布进行分析；根据仪器检测的结果,结合材料的化学结构等理论知识综合分析是研究激光光化学作用机理的主要方法.

关键词：激光加工、光化学作用、检测分析、加工表面变化、光热作用

所属期刊栏目：25

分类号：TN247(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金项目50675038;国家自然科学基金项目50805027;广州市科技计划项目2005J1-C0081

在线出版日期：2011-12-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：337-341