微结构力学特性分析

摘要：

在MEMS器件中,用的较多的构件有薄膜材料,对其力学性能的分析是MEMS器件分析的关键所在.由于受到残余应力,弹性模量的误差,薄膜晶格的各向异性,泊松比,微结构的疲劳和破坏韧性等的影响,实际测量数据和理论公式总存在一些误差.本文通过实际测量的数据在Matlab环境下的分析,得到如下结论:当微结构梁的挠度小于600 μn时,力与挠度的关系理论公式与实际数据对比是比较一致的,大于600 μm的实验数据渐渐地偏离理论上的直线公式,呈现出非线性的特性.

关键词：挠度、悬臂梁、绝对误差、神经网络、弹性模量

所属期刊栏目：25

分类号：TP183(自动化基础理论)

资助基金：2009年国家自然科学研究基金60876077;2009年山西省自然科学研究基金2009011018-3

在线出版日期：2011-12-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：308-311