基于白光透射反射干涉的形貌重构方法验证

摘要：

利用扫描白光干涉的测量方法,通过透射反射干涉的方式,对覆盖不同层数透明薄膜GaAs台阶结构进行透射测试,实现了对覆盖透明薄膜的GaAs台阶结构三维形貌还原方法的验证.该测量方法是在Pizeo的驱动下,通过改变测量臂和参考臂之间的光程差,使其不同高度的表面到达零光程差位置,并由CCD记录整个扫描过程中干涉条纹的变化状况,进而提取被测件的三维形貌信息.该测试技术具有非接触、无破损、高灵敏度和快速测量的特点.可为膜后形貌的三维重构提供借鉴方法.

关键词：扫描白光干涉、GaAs台阶结构、透射反射干涉、三维形貌还原、零光程差

所属期刊栏目：24

分类号：O436.1(光学)

资助基金：国家863基金资助项目2007AA04Z321;国家自然科学基金重点资助项目50535030;国家自然科学基金资助项目60806039

在线出版日期：2010-11-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：463-466