10.3969/j.issn.1671-7449.2010.05.016
硅基反铁电薄膜微悬臂梁力学仿真分析
采用双层微悬臂梁理论模型,对基于反铁电薄膜微悬臂梁驱动构件的力学行为进行分析研究.以反铁电薄膜材料体积应变ε=0.8%为设定量,实现硅基反铁电薄膜微悬臂梁结构的应变-应力载荷转化,运用ANSYS11.0对基于反铁电薄膜应变效应的硅基微悬臂梁结构进行了静态分析、模态分析和谐响应分析,通过对此微驱动结构的优化设计、仿真,得出了不同几何参数硅基微悬臂梁构件的挠度和谐振频率.从而无需进行大量的工艺流片,为大量程的微悬臂梁驱动构件的设计加工提供指导意义.
反铁电薄膜(PLZT)、微悬臂梁、应变效应、力学行为、仿真分析
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TN304.055(半导体技术)
国家自然科学基金资助项目60806039;中国博士后科学基金资助项目20090461275;山西省基础研究计划项目20100210023-6
2010-11-18(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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