10.3969/j.issn.1671-7449.2010.05.009
气体探测用低功耗微型加热器研究
介绍了一种基于MEMS技术的可用于气体探测的低功耗微型加热器.通过结构优化和工艺参数控制实现了一种低功耗和高机械强度加热器的设计与制作.该加热器采用悬膜式结构,中心加热膜区通过4根细长的悬梁与衬底框架相连,铂电阻丝作为加热元件以折线的形式排列在中心膜区上,采用硅各向异性腐蚀液正面释放薄膜,并在薄膜下方形成倒金字塔型的隔热腔体.测试结果表明,加热器在400 C时功耗仅为26 mw,且加热器的升温响应时间小于5 ms,降温响应时间小于2 ms.
MEMS、低功耗、微型加热器、铂、各向异性腐蚀
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TP212(自动化技术及设备)
国家重点基础研究发展计划973资助项目2006CB300403;国家高技术研究发展计划863资助项目2007AA03Z308;国家自然基金委创新团队资助项目60721004
2010-11-18(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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