基于温度梯度驱动的液滴传输行为研究

摘要：

设计并制作了一种基于温度梯度驱动的液滴传输芯片,以实现对微液滴传输的精确控制.介绍了驱动原理和工艺流程,分析了仿真和实验结果.该芯片利用温度梯度下液滴表面形成的表面张力梯度来传输液滴,采用玻璃作为衬底,Ti为电阻加热器,Au为电极,PECVD氧化硅为介质层,碳氟聚合物为疏水层,实现了器件制作.芯片采用开放式结构,制作工艺简单,操作方便.测试结果表明,驱动功率为0.38 W时,去离子水和硅油的传输速率分别达到0.1 mm/s和1 mm/s.

关键词：微液滴、温度梯度、表面张力梯度、电阻加热器、开放式结构

所属期刊栏目：24

分类号：TN402(微电子学、集成电路（IC）)

资助基金：国家重点基础研究发展计划973资助项目2006CB300403;国家高技术研究发展计划863资助项目2007AA03Z308;国家自然基金委创新团队资助项目60721004

在线出版日期：2010-11-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：377-380