基于白光干涉测量技术的微器件三维形貌重构

摘要：

垂直扫描法可以重构微系统中微纳结构的表面形貌, 更适合具有台阶结构的微纳结构, 其分辨率高、解算速度快、精度较高. 本文利用基于白光干涉技术的垂直扫描法, 对微器件的台阶形貌在微系统测试仪下所得的干涉图进行分析, 并重构台阶结构的表面形貌, 微系统测试仪所取的干涉图符合垂直扫描法的要求, 即光强峰值附近没有达到饱和, 得出了清晰的三维形貌图, 解算出的台阶高度和实际台阶高度一致, 其横向分辨率为 1.6 μm, 纵向分辨率为 0.05 μm.

关键词：微器件、白光干涉、垂直扫描法、包络线、零光程差位置

所属期刊栏目：23

分类号：TM930

资助基金：国家自然基金重点资助项目50535030, 50730009

在线出版日期：2009-06-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：201-204