10.3969/j.issn.1671-7449.2007.04.003
基于压电陶瓷驱动的精密定位平台研究
设计了一种基于压电陶瓷驱动的整体式柔顺精密定位平台. 建立了柔性铰链的刚度矩阵,给出了平台的理论分析模型;利用模糊自整定 PID 控制算法对压电陶瓷驱动器进行了闭环控制,提高了驱动器的输出位移精度;提出了一种实验修正方法,提高了平台的定位精度. 实验结果表明,平台具有亚微米级的定位精度以及良好的动态特性.
精密定位、压电驱动、柔性较链、模糊自整定、实验修正
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TH112.5
国家自然科学基金50375051;教育部高等学校优秀青年教师教学科研奖励计划;广东省自然科学基金05006494;教育部科学技术研究重点项目104149;广东省科技攻关计划2004B10201026;广东省广州市科技攻关项目053J208001
2007-10-12(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共6页
295-300